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一种PVT法生长碳化硅晶体的方法及装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112981532 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110201676.7 C30B 23/00 (2006.01) (22)申请日 2021.02
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