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一种高纯碳化硅颗粒的反应装置及制备方法.pdf

发布：2023-06-10约8.88千字共8页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112978731 B (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202110551428.5 审查员王倩 (22)申请日 2021.05.20

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