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一种碳化硅晶体、其使用的籽晶及籽晶的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113388888 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110691438.9 C30B 23/00 (2006.01)
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