一种碳化硅籽晶及由其制得的碳化硅单晶片、单晶锭.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114808128 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210257397.7 B05C 5/02 (2006.01)
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