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一种碳化硅籽晶及由其制得的碳化硅单晶片、单晶锭.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114808128 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210257397.7 B05C 5/02 (2006.01)
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