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一种碳化硅单晶生长装置及其生长方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831841 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011633769.9 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 湖南三安半导体有限责任公司
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