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一种碳化硅单晶的液相生长装置及液相生长方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921399 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110075714.9 (22)申请日 2021.01.20 (71)申请人中电化合物半导体有限公司

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