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一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113004040 B (45)授权公告日 2022.05.06 (21)申请号 202110199569.5 C04B 35/565 (2006.01)

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