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碳化硅器件外延结构及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112993017 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202110202787.X H01L 29/861 (2006.01)

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