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碳化硅MOSFET器件及其制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883412 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210484974.6 (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人湖北九峰山实验室地址 43007

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