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一种PVT法碳化硅晶体生长中附加碳源的粉料的添加方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113403681 B (45)授权公告日 2022.06.28 (21)申请号 202110666260.2 (51)Int.Cl.

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