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一种晶体生长设备及晶体生长方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114457413 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111673957.9 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人 上海翌波光电科技有限公司 地址 2
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