文档详情

一种砷化镓晶体生长设备.pdf

发布:2023-02-28约6.06千字共6页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213172686 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021102937.7 (22)申请日 2020.06.15 (73)专利权人 高密普特电子设备有限公司
显示全部
相似文档