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冷却装置、晶体生长设备和晶体生长设备的控制方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114457409 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202111650923.8 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人 徐州鑫晶半导体科技有限公司 地址
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