一种用于晶体生长的液面检测装置及晶体生长装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112813492 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011538348.8
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 上海新昇半导体科技有限公司
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