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一种用于晶体生长的液面检测装置及晶体生长装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112813492 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011538348.8 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 上海新昇半导体科技有限公司
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