晶体生长炉的装料称重装置及其称量方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112834003 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202011629230.6 审查员 孙溪
(22)申请日 2020.12.31
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