一种对碳化硅晶体生长后的剩余烧结原料的再利用方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113355743 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110665166.5
(22)申请日 2021.06.16
(71)申请人 哈尔滨科友半导体产业装备与技术
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