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一种对碳化硅晶体生长后的剩余烧结原料的再利用方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113355743 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110665166.5 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人 哈尔滨科友半导体产业装备与技术
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