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氮化镓高电子迁移率晶体管及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993010 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202010782423.9 (22)申请日 2020.08.06 (30)优先权数据 108146326
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