一种外延片、外延片生长方法及高电子迁移率晶体管.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114551593 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210049690.4 H01L 29/20 (2006.01)
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