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GaN器件结构及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112993033 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202110181529.8 H01L 21/335 (2006.01) (22)申请日 2021.0

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