环栅增强型AlGaN/GaN功率HEMT器件及其制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112838120 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110084422.1 H01L 29/20 (2006.01)
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