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一种增强型GaN基HEMT器件、其制备方法与应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114464677 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210128236.8 (22)申请日 2022.02.09 (71)申请人中国科学院宁波材料

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