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一种HEMT射频器件及其制备方法和应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883400 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210358702.1 (22)申请日 2022.04.07 (71)申请人华南理工大学地址 51064

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