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双栅极氮化镓MIS-HEMT器件及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802893 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110054671.6 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人西交

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