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HEMT器件及其自隔离方法、制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113394096 B (45)授权公告日 2022.05.31 (21)申请号 202110665142.X H01L 29/06 (2006.01)

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