半导体器件及其制作方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114188329 A
(43)申请公布日 2022.03.15
(21)申请号 202111325610.5 H01L 27/11524 (2017.01)
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