半导体器件及其制作方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823311 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210176887.4 H01L 27/11578 (2017.01)
(22)申请日 2022.
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