一种大尺度超滑器件及其加工制作方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112794277 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011581932.1
(22)申请日 2021.03.05
(71)申请人 深圳清华大学研究院
地
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