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一种大尺度超滑器件及其加工制作方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112794277 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011581932.1 (22)申请日 2021.03.05 (71)申请人 深圳清华大学研究院 地
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