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石墨烯太赫兹光源器件及其制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013714 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110214472.7 H01L 33/34 (2010.01)

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