氮化镓基功率器件外延结构及其制备方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112993012 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110171622.0
(22)申请日 2021.02.08
(71)申请人 厦门
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