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红外LED外延结构及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551672 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210165993.2 (22)申请日 2022.02.21 (71)申请人厦门士兰明镓化合物半导体有限公

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