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一种GaN器件及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820774 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011613280.5 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人南方科技大学地址

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