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一种GaN基发光二极管外延片及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114792749 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202210457982.1 H01L 33/00 (2010.01)

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