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LCOS器件、结构及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117331255A

(43)申请公布日2024.01.02

(21)申请号202311408854.9

(22)申请日2023.10.26

(71)申请人上海传芯半导体有限公司

地址2

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