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一种GaN微波大功率器件的散热结构制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802750 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011584947.3 H01L 23/373 (2006.01)

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