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半导体结构及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112930605 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 201880097216.0 (72)发明人 程凯  (22)申请日 2018.09.07
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