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半导体结构及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116721967 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202211723330.4 (22)申请日 2022.12.30 (30)优先权数据 17/687,837 2022

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