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半导体结构的制备方法及半导体结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992659 B (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202110451699.3 H01L 21/311 (2006.01)
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