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磁控溅射倾斜沉积纳米多孔柱状氧化物薄膜及其在SOFC中的应用的中期报告 本研究旨在开发一种磁控溅射倾斜沉积纳米多孔柱状氧化物薄膜，并研究其在固体氧化物燃料电池（SOFC）中的应用。 首先，我们制备了La0.8Sr0.2MnO3 （LSM）和Yttria-stabilized zirconia （YSZ）基底，并使用磁控溅射技术制备了氧化铝（Al2O3）多孔柱状膜。通过调节溅射功率，控制薄膜的孔隙度和孔径大小。 通过光学显微镜和扫描电子显微镜观察，发现制备的薄膜具有明显的多孔柱状结构，孔道大小在50-200纳米之间，表面均匀，平滑。X射线衍射分析表明，薄膜的结晶度较好，晶粒大小在30-50纳米之间。 接下来，我们将Al2O3膜作为氧离子传输膜（ITM）的底层，在其上制备La0.6Sr0.4CoO3-δ （LSC）阳极材料。在LSC层上加上YSZ电解质层，并制备LSM阳极层，最后制备SOFC单元。通过测试，发现多孔柱状Al2O3薄膜具有较好的氧离子传输性能，并使整个SOFC单元的性能得到改善。 未来，我们将进一步研究氧化物多孔柱状薄膜的制备和性质，探讨其在不同应用领域中的潜在应用。