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GaN基HEMT器件辐照效应研究.docx

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TOC\o1-3\h\u摘要 1

第一章绪论 2

1.1.GaN半导体器件研究动态 2

1.1.1.GaN材料优势 2

1.1.2.GaN基半导体器件的应用背景和研究现状 3

1.2.本文研究内容与安排 5

第二章GaN半导体简介及辐照效应损伤机理 6

2.1.GaN半导体 6

2.1.1.GaN的结构与性质 6

2.1.2.GaN的原生缺陷 7

2.1.3.GaN的辐照缺陷 7

2.2.辐照效应损伤机理 8

2.2.1.电离损伤 8

2.2.2.位移损伤

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