文档详情

一种薄膜生长方法及装置.pdf

发布：2023-06-09约1.72万字共16页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112962139 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110236047.8 (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人南方科技大学地址

显示全部

相似文档

一种在GaAs衬底上生长GaInP薄膜的方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363338 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110611917.5 (22)申请日 2021.06.02 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十六研
2023-06-17 约5.32千字 5页立即下载
一种石墨烯生长装置及其生长方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114873583 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202111104120.2 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人常州市金坛碳谷新材料科技有限公
2023-05-17 约1.07万字 11页立即下载
一种YCOB晶体生长用生长装置和生长方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112813493 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110154587.1 (22)申请日 2021.02.04 (71)申请人同济大学地址 20
2023-06-06 约1.04万字 8页立即下载
一种原子层沉积技术生长SnSx薄膜的方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875390 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210486755.1 (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人
2023-05-16 约1.48万字 9页立即下载
一种碳化硅单晶生长装置及其生长方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831841 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011633769.9 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人湖南三安半导体有限责任公司
2023-06-05 约1.01万字 10页立即下载
一种生长高质量SiC单晶的装置及生长方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112981531 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110177439.1 (22)申请日 2021.02.07 (71)申请人赵丽丽地址 150
2023-06-11 约1.41万字 11页立即下载
一种大直径SiC单晶生长装置及生长方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114540943 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210227495.6 (22)申请日 2022.03.08 (71)申请人山东大学地址 250014 山东
2023-05-08 约1.4万字 12页立即下载
一种在Ru(0001)薄膜上异质外延生长金刚石（111）薄膜的制备方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831834 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011636822.0 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人西安
2023-06-02 约6.81千字 7页立即下载
一种气溶胶辅助化学气相沉积的氧化镓薄膜的生长方法及氧化镓薄膜.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388824 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110659219.2 (22)申请日 2021.06.15 (71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物
2023-06-20 约1.05万字 12页立即下载
在衬底上生长氧化镓薄膜的方法和氧化镓薄膜.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831750 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110002490.9 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人广东
2023-06-02 约1.19万字 10页立即下载
畴外延生长γ-CuI薄膜的方法及γ-CuI薄膜.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN117802574A (43)申请公布日2024.04.02 (21)申请号202410218690.1 (22)申请日2024.02.28 (71)申请人内蒙古工业大学地址01005
2024-03-31 约1.19万字 9页立即下载
一种柔性类氧化硅薄膜大面积生长装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213172560 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021298065.6 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人山东大学地址 2
2023-03-03 约8.57千字 9页立即下载
一种薄膜切割装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218593078 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222781578.8 (22)申请日 2022.10.21 (73)专利权人安徽海螺建材设计
2023-03-10 约6.94千字 7页立即下载
一种薄膜用的除尘装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213468756 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022090288.X (22)申请日 2020.09.22 (73)专利权人福建博创钢结构工程有限公司
2023-03-08 约6.85千字 6页立即下载
一种薄膜清洁装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213001359 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021090623.X (22)申请日 2020.06.12 (73)专利权人江苏软讯科技有限公司
2023-02-24 约7.09千字 6页立即下载