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一种气溶胶辅助化学气相沉积的氧化镓薄膜的生长方法及氧化镓薄膜.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388824 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110659219.2 (22)申请日 2021.06.15 (71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物

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