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等离子体产生装置及等离子体处理方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586473 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 201980101498.1 (51)Int.Cl.

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