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等离子体处理装置以及等离子体处理方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115004863 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080004065.7 (51)Int.Cl.

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