文档详情

等离子体处理装置和等离子体处理方法.pdf

发布：2023-05-15约2万字共18页下载文档

文本预览下载声明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823266 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210030989.5 (22)申请日 2022.01.12 (30)优先权数据 2021-006604 202

显示全部

相似文档

等离子体处理装置的异常探测方法和等离子体处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823269 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210039073.6 (22)申请日 2022.01.13 (30)优先权数据 2021-008964 202
2023-05-12 约2.46万字 25页立即下载
等离子体处理装置以及等离子体处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115004863 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080004065.7 (51)Int.Cl.
2022-10-19 约2.71万字 29页立即下载
等离子体处理装置、等离子体处理方法和存储介质.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345788 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110571547.7 (51)Int.Cl.
2023-06-16 约4.49万字 48页立即下载
等离子体处理方法和等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345787 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110202244.8 (22)申请日 2021.02.23 (30)优先权数据 2020-0350
2023-06-19 约1.97万字 21页立即下载
等离子体处理装置和等离子体处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992643 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011451572.3 (22)申请日 2020.12.10 (30)优先权数据 2019-2276
2023-06-09 约1.91万字 19页立即下载
等离子体产生装置及等离子体处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586473 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 201980101498.1 (51)Int.Cl.
2023-05-07 约1.46万字 15页立即下载
等离子体处理装置和被处理体的处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394082 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110653982.4 H01L 21/02 (2006.01) (22)申请日 2
2023-06-17 约2.94万字 25页立即下载
检查方法、检查装置及等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410115 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110235492.2 (22)申请日 2021.03.03 (30)优先权数据 2020-0466
2023-06-18 约2.86万字 30页立即下载
基板处理方法及等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838002 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011285147.1 (22)申请日 2020.11.17 (30)优先权数据 2019-2124
2023-06-04 约1.8万字 18页立即下载
配线异常的检测方法和等离子体处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582696 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111413523.5 (22)申请日 2021.11.25 (30)优先权数据 2020-200322 202
2023-05-10 约2.44万字 22页立即下载
一种等离子体处理装置及其调节方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582691 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011295090.3 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公
2023-05-07 约2.08万字 18页立即下载
检测方法和等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410116 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110243624.6 (22)申请日 2021.03.05 (30)优先权数据 2020-0466
2023-06-21 约1.92万字 19页立即下载
温度控制方法和等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394070 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110244864.8 (22)申请日 2021.03.05 (30)优先权数据 2020-0442
2023-06-18 约3.06万字 25页立即下载
等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112820617 B (45)授权公告日 2021.12.07 (21)申请号 202010853870.9 (51)Int.Cl.
2023-06-02 约2.64万字 26页立即下载
一种等离子体处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410113 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 20201
2023-06-20 约1.07万字 10页立即下载