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等离子体处理装置和被处理体的处理方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394082 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110653982.4 H01L 21/02 (2006.01) (22)申请日 2

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