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一种等离子体处理装置及其调节方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582691 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011295090.3 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公

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