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基板处理方法及等离子体处理装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838002 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011285147.1 (22)申请日 2020.11.17 (30)优先权数据 2019-2124

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