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用于产生非热等离子体的电极装置和等离子体源，以及操作等离子体源的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366922 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 201980090322.0 (51)Int.Cl.

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