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等离子体源的用于执行等离子体处理的电极装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366600 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 201980091443.7 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公

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