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用于产生非热等离子体的方法和系统.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113395984 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 201980077812.7 (74)专利代理机构北京泛华伟业知识产权代理

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